偶氮聚合物光刻胶实现光致可逆固液相变

研究团队设计出一种具有光致可逆固液相变的偶氮聚合物光刻胶，用于纳米压印光刻。团队称，该材料的热稳定性和光稳定性优于传统光刻胶，实验室存放超过10年仍可用于纳米压印。 据团队介绍，光致可逆固液转变使压印纳米结构中的缺陷能够被修正；偶氮聚合物的线形链结构则使被光刻胶污染的模具可用溶剂清洗。

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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。