远程催化脱氢在c-蓝宝石晶圆上直接生长超洁净单层非晶碳

通过热化学气相沉积，在2英寸c-蓝宝石晶圆上直接生长出单层非晶碳，远程放置的催化剂将碳前驱体分解为活性碳原料，使生长衬底免受金属污染。XPS检测显示整片晶圆无催化剂残留，并确认形成高度sp²杂化的碳网络，电子显微镜观察到无长程周期性的随机多边形碳网络。Raman与AFM mapping证实单层覆盖均匀且原子级平整，电学测量表明其具有绝缘特性与双极性、栅极可调的跳跃输运。