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从可规模化机械纳米图案化到多功能材料多维集成:纳米图案支架功能器件的实用制造之路
Road to Practical Manufacturing of Nanopattern‐Scaffolded Functional Devices: From Scalable Mechanical Nanopatterning to Multidimensional Integration With Functional Materials
AI 导读
综述提出三条递进平台技术,推动纳米图案支架功能器件摆脱对光学光刻、真空工艺与化学刻蚀的依赖。PT-I 以大面积拼接模具实现大面积纳米压印,并借鉴压痕、挤出、划刻等经典加工原理发展连续机械图案化;PT-II 用离子金属墨水和碳纳米管涂层实现低温溶液法功能表面构筑;PT-III 展示金属纳米图案引导半导体纳米线生长、纳米线互连金属线图案电极及微光栅侧壁支架结构等多维集成策略。
图表、补充材料与最终表述以原文为准。阅读原文
来源:Small · doi.org