电化学溶解度切换实现侧向刻蚀，将线宽细化至约17 nm

研究提出一种电化学刻蚀策略，利用电响应聚合物中电压门控的溶解度切换，把最终特征尺寸与光学衍射极限解耦。作者发现罗丹明基聚合物 Poly-RhNNE-B 的溶解度随氧化还原态受施加电位精确调控，可实现可编程电化学溶解；氧化还原介体促进的分子间电荷转移使溶解度切换在电极接触区之外侧向延伸。